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Bruker Dektak XT臺(tái)階儀在半導(dǎo)體芯片中的應(yīng)用

發(fā)布時(shí)間:2023-06-20瀏覽:981

      臺(tái)階儀(探針式輪廓儀)通過(guò)記錄探針在物體表面的垂直位移,從而達(dá)到測(cè)量物體表面臺(tái)階高度、粗糙度等物理參數(shù)的目的。主要用于薄膜材料厚度(2D)測(cè)量和表面形貌測(cè)量(3D)。臺(tái)階儀可獲得定量的臺(tái)階高度、線粗糙度、薄膜曲率半徑,測(cè)量薄膜應(yīng)力等。Bruker Dektak XT臺(tái)階儀由于其操作簡(jiǎn)單、分辨率高及重復(fù)性良好等優(yōu)點(diǎn),被廣泛用于半導(dǎo)體、微電子、太陽(yáng)能、LED、觸摸屏、醫(yī)療等領(lǐng)域。

 

      Bruker Dektak XT臺(tái)階儀有以下特點(diǎn):

       近年來(lái),為了打破國(guó)外對(duì)我國(guó)半導(dǎo)體芯片技術(shù)封鎖,解決“卡脖子”問(wèn)題,國(guó)家加大對(duì)半導(dǎo)體芯片行業(yè)的投入。在政府的鼓勵(lì)及扶持下,各地半導(dǎo)體企業(yè)數(shù)量也來(lái)越多,規(guī)模及產(chǎn)能也越來(lái)越大。

       晶圓在生產(chǎn)制造的過(guò)程中,會(huì)對(duì)晶圓進(jìn)行鍍膜以及刻蝕工藝,鍍膜后要進(jìn)行膜厚的測(cè)量,刻蝕后要進(jìn)行刻蝕的深度等進(jìn)行測(cè)量,從而判斷是否滿足工藝要求。臺(tái)階儀因其使用方便、快捷、準(zhǔn)確等特點(diǎn),而成為工程師們測(cè)膜的選擇。

Bruker Dektak XT臺(tái)階儀在使用過(guò)程中操作簡(jiǎn)單,整個(gè)測(cè)試過(guò)程在可通過(guò)CCD在軟件界面中實(shí)時(shí)觀測(cè)。

 

 

并且很快就能計(jì)算出測(cè)量結(jié)果。

 

 

此外臺(tái)階儀還可以進(jìn)行表面線粗糙度、3D表面形貌測(cè)量(自動(dòng)樣品臺(tái))。

 

 

 粗糙度測(cè)量

 

3D形貌測(cè)量

 

 

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