薄膜應力及基底翹曲測試設備
FSM128系列設備，裝備有光學掃描系統。
薄膜應力及基底翹曲測試設備
FSM 500TC 200mm 高溫應力測試系統可以幫助研發和工藝工程師評估薄膜的熱力學性.....
晶圓厚度測量系統
FSM413回波探頭傳感器使用具有紅外（IR）干涉測量技術
Line Card
全自動紫外線芯片應力測量儀
全自動紫外線芯片應力測量儀一臺全自動紫外線——可見光RAMan儀器，主要用與測量芯片應力。
紅外干涉測量設備
紅外干涉測量技術, 非接觸式測量
電話：86-021-37018108
傳真：86-021-57656381
郵箱：info@boyuesh.com
地址：上海市松江區莘磚公路518號松江高科技園區28幢301室
